劳易测传感器技术助力天车搬运系统(OHT)应用

随着半导体行业的不断发展，制造商面临着提高生产效率和降低成本的挑战。天车搬运系统（OHT）是半导体制造厂中一种重要的自动搬运系统，通过提高物料运输效率，降低人力成本和减少污染风险，改善整体生产流程。

那有关天车搬运系统（OHT）大家了解多少呢？

“OHT”是 Overhead Hoist Transfer 的缩写。主要的搬运移载部件为：晶圆加载机 (LPU, Load-Port Unit) 以及前开式晶圆传送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod)，而整个OHT搬运系统的组成部分示意为如图：

而在这样高效而复杂的自动化设备上，作为传感器专家的劳易测，又有哪些独到的产品可以发挥作用呢。

BPS 8条码定位系统

助力OHT设备精准定位

• 工作距离60~120 mm，紧凑型的设计，仅60mm的盲区，特别适用于紧凑型设备；
• 定位范围0~10,000,000mm，配合高质量的BCB条码带可充分满足行走距离要求；
• 兼容设备4m/s的移动速度，充分契合OHT设备3m/s的最大速度需求；
• 5VDC/24VDC（适用MA8适配模块）多种电压范围适合不同电子设备供电要求；
• RS232/RS485及Modbus数据输出方式，给您提供更多数据选择；
• BCB 条码带有标准25mm高度和47mm高度可选，提供定制高度及长度的服务。

CR 100经济型固定条码阅读器

配合单体条码附件，可实现OHT小车经济型定位和换速信号获取

• 工作距离15~67 mm，小巧的设计特别适用于紧凑型设备；
• 700Hz的扫描频率，配合单体条码附件满足高速运行设备要求；
• 5VDC供电要求，更贴PCB控制板电路设计；
• RS232数据输出方式，适合单机设备使用。

PRK 3C系列传感器

稳定检测，分毫不差

在通用OHT小车上，需要有稳定检测FOUP存在状态的光电传感器。PRK 3C高性能光电传感器，实现稳定检测的同时，保证快速响应的需求，以及条码阅读产品的高速触发。

• 带偏振光镜片的镜反射光电传感器，保证检测稳定性；
• PRK3C.A3同轴光式传感器，“0”盲区，即使和反射板贴得再近也有效；
• 1500Hz扫描频率，高速运动设备的首选；
• IO-Link的调整功能，可以使参数设定一致性更佳，智能化领先一步。