Brooks Automation 001-4130-03 于半导体制造过程中的晶圆对准操作

Brooks Automation 001-4130-03 是一款高精度的晶圆对准控制器，主要用于半导体制造过程中的晶圆对准操作。该产品通过高精度的定位和校准技术来确保晶圆的位置及方向准确，从而为后续工艺提供基础。

产品规格：

高精度测量与控制：采用先进的测量技术和高精度传感器，能够实现±0.1微米的高精度对准。

高可靠性设计：具有冗余设计和故障自诊断功能，即使在单个组件发生故障的情况下也能正常工作。

精确控制算法：采用先进的定位算法和伺服机制，实现高速度和高可靠性的晶圆对准。

用户定义标签编程：支持基于描述性I/O命名的用户定义标签编程，简化了操作流程。

更多型号备货欢迎咨询：

ABB 3BHB006716R0217 

ABB PP877 3BSE069272R2

Brooks Automation 001-4130-03

Honeywell FC-SCNT01 51454926-176 

DS200TCQCG1AJD 

WOODWARD BUM60-1224-54-B-001-VC-A0-0093-0013-G003-000 3522-1004 

BENTLY 350022M 138607-01V

DS200TCQCG1AJD 

EMERSON KJ4001X1-BE1 

GE D20 EME 27-APR-13

GE WES5120 2340-21004 

GE WESDAC D20ME 18-MAR-13

GE D20 EME 2400-21004 

GE IS215WETAH1BB IS200WETAH1AGC

GE WEA13-13 2508-21001 

GE WES5120 2340-21006

VIBRO-METER SIM-275A 200-582-500-013 

WOODWARD BUM60-1224-54-B-001-VC-A0-0093-0013-G003-000 3522-1004